[发明专利]绘图装置

摘要

本发明提供一种绘图装置，使清洁滚轮接触工作台上的工件表面时，防止因为清洁滚轮接触工件而导致工件在工作台上偏离或剥离。在绘图工作台(13)表面形成的多个抽吸口通过抽吸管(V)分别由对应的抽吸泵(P)进行抽吸。利用压力传感器(S)检测该抽吸管内的真空度。绘图工作台驱动马达(18)可使绘图工作台往复移动于从待机位置至超过由绘图光学系统确定的绘图位置的位置。清洁单元上下移动驱动用气缸(43)使清洁滚轮(49)在机械手(5)及绘图光学系统之间相对于绘图工作台上下移动。控制部(6)只有在由压力传感器检测到的真空度超过特定值时，利用清洁单元上下移动驱动用气缸，使该清洁滚轮下降并接触绘图工作台，并在该状态下使绘图工作台移动。

主权项

1.一种绘图装置，该绘图装置是利用基于绘图数据而调制的光线对工件的表面描绘出与绘图数据对应的图案的直接曝光方式的绘图装置，其特征在于，该绘图装置具备：绘图光学装置，该绘图光学装置利用基于绘图数据而调制的光线来描绘像；绘图工作台，该绘图工作台在其表面形成有抽吸口；绘图工作台移动机构，该绘图工作台移动机构使所述绘图工作台在待机位置与利用所述绘图光学装置描绘像的位置之间往复移动；抽吸泵，该抽吸泵通过抽吸管而与所述绘图工作台的各抽吸口连通，通过该抽吸管从所述抽吸口进行抽吸；压力传感器，该压力传感器用以检测所述抽吸管内的真空度；清洁单元，该清洁单元在处于待机位置的所述绘图工作台上的所述工件的载置位置与所述绘图光学装置之间，使旋转轴面向与所述绘图工作台的表面平行且与该绘图工作台的移动方向正交的方向，旋转自如地保持着清洁滚轮，并且，使其在接触所述绘图工作台表面的位置与离开该绘图工作台的位置之间移动；以及控制部，该控制部只有在所述压力传感器检测到的真空度为特定阈值以上时，才对所述清洁单元使所述清洁滚轮朝接触所述绘图工作台的位置移动，在该状态下利用所述绘图工作台移动机构使所述绘图工作台从所述待机位置移动至利用所述绘图光学装置描绘像的位置。