[发明专利]整体式精密五轴调整装置在审
申请号: | 200810099368.2 | 申请日: | 2008-05-06 |
公开(公告)号: | CN101290384A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 方林;陈新宏 | 申请(专利权)人: | 芯硕半导体(中国)有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 合肥金安专利事务所 | 代理人: | 金惠贞 |
地址: | 230601安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及光学器件在空间的多自由度精密调整的整体式精密五轴调整装置。解决了现有五轴调整机构体积大的问题。本发明包括热沉,热沉通过主轴设于U形光源组合固定架内;U形光源组合固定架底部连接着主轴,其底部设有一对齿轮传动副;主轴中部螺纹配合连接着螺纹调节套,螺纹调节套处设有一对齿轮传动副,主轴下部连接着主基座;主基座为矩形座,其外侧套装有内框板和外框板。本装置可实现热沉相对外框板的三轴平移调整和两轴旋转调整。其设计合理,结构简单紧凑、工作稳定可靠。 | ||
搜索关键词: | 整体 精密 调整 装置 | ||
【主权项】:
1、整体式精密五轴调整装置,其特征在于:包括一个热沉(21),所述热沉通过热沉主轴(23)设于U形光源组合固定架(16)内;U形光源组合固定架(16)底部对称中心通过轴套(17)固定连接着主轴(2),U形光源组合固定架(16)底部外侧面固定设有Z轴大齿轮(25);主轴(2)上套设有齿轮拖配连接板(13),主轴(2)中部通过螺纹配合连接着螺纹调节套(26),主基座(6)通过下轴套(4)套装在主轴(2)下部;螺纹调节套(26)上部固定套设有Z轴移动齿轮(27),下部套设有环形压盖(30),环形压盖(30)固定连接着主基座(6);齿轮拖配连接板(13)一侧通过轴承设有平行与主轴(2)的Z向移动调节轴(3),Z向移动调节轴(3)的上端设有与Z轴大齿轮(25)啮合的小齿轮(14),其下部贯穿伸至主基座(6)外;主基座(6)另一侧设有平行于主轴(2)的Z向升降调节轴(33),Z向升降调节轴(33)上端设有与Z轴移动齿轮(27)配合的Z轴移动小齿轮(29);主基座(6)为矩形座,其外侧套设有内框板(8)和外框板(9);主基座(6)与内框板(8)相对应两侧分别设有X向移动左滑轨(7)和X向移动右滑轨(31);内框板(8)与外框板(9)相对应两侧分别设有Y向移动左滑轨(45)和Y向移动右滑轨(42)。
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