[发明专利]抛光装置、基板制造方法及电子装置的制造方法无效
| 申请号： | 200810099880.7 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101362308A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 十仓史彦;竹内光生 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 冯志云 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种抛光装置、基板制造方法及电子装置的制造方法，其中的抛光装置设置成对工件的两个表面同时进行抛光，该抛光装置包括：恒星齿轮，其绕着一对抛光表面中的一个抛光表面的旋转轴设置；载体，其具有设置成容放所述工件的孔，所述载体包括齿以便作为绕着所述恒星齿轮自转和公转的行星齿轮；以及第一防尘机构，其包括位于所述恒星齿轮与所述载体中的孔之间的第一弹性构件，所述第一弹性构件接触所述载体的、与所述抛光表面之一相对的一个表面。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 制造 方法 电子 | ||
【主权项】：
1.一种抛光装置，设置成对工件的两个表面同时进行抛光，所述抛光装置包括：恒星齿轮，其绕着一对抛光表面中的一个抛光表面的旋转轴设置；载体，其具有设置成容放所述工件的孔，所述载体包括多个齿以便作为绕着所述恒星齿轮自转和公转的行星齿轮；以及第一防尘机构，其包括位于所述恒星齿轮与所述载体中的孔之间的第一弹性构件，所述第一弹性构件接触所述载体的、与所述抛光表面之一相对的一个表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士通株式会社，未经富士通株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810099880.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
