[发明专利]吸附工作台

摘要

本发明提供一种吸附工作台，并提供一种吸振装置，其吸收各种各样频率的振动，防止振动传递到检查基板等板状部件上。吸振装置是板状装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中。该吸振装置在一方侧载置被载置部件，该吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，该吸振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位与吸振装置的一方侧连通地连接起来，通气道由不同大小的大量小孔构成，这些小孔由壁面形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，该吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被载置部件上。

主权项

1.一种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与所述真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由面积和倾斜方向各种各样的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。