[发明专利]清洗干燥装置无效
申请号: | 200810100125.6 | 申请日: | 2008-05-26 |
公开(公告)号: | CN101314158A | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 美甘谦二;伊柳和重 | 申请(专利权)人: | 爱斯佩克株式会社 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李雪春;武玉琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种对可省略纯水清洗步骤的被清洗物进行清洗、干燥的清洗干燥装置,可以防止清洗时间变长,也可以延长清洗液的寿命。清洗干燥装置(10)包括:外侧容器(14);内侧容器(38),设置在所述外侧容器内,具有用于使所述被清洗物出入的开口部,该内侧容器内储存所述清洗液;真空泵(20b),使所述外侧容器的内部减压,以使附着在所述被清洗物上的清洗液蒸发;过滤器(58),净化所述清洗液;以及盖体(52),气密密封所述内侧容器(38)的所述开口部。 | ||
搜索关键词: | 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】:
1.一种清洗干燥装置,利用清洗液清洗被清洗物,并对附着在该被清洗物上的清洗液进行干燥,其特征在于包括:外侧容器;内侧容器,设置在所述外侧容器内,具有用于使所述被清洗物出入的开口部,该内侧容器内储存所述清洗液;减压单元,使所述外侧容器的内部减压,以使附着在所述被清洗物上的清洗液蒸发;净化单元,净化所述清洗液;以及盖体,气密密封所述内侧容器的所述开口部。
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