[发明专利]用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置

摘要

一种用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置，包括冷/热气体传输系统、操作系统和数据采集系统；操作系统包括位于底座上的操作室，操作室的上端设观察视窗，左右侧壁上设通孔，前或后侧壁上设排气孔；操作室内底座上置二维操作平台，平台作平面二维运动，平台两侧设第一和第二旋转机械臂，机械臂端部装探针；冷/热气传输系统由冷源储气瓶、热源储气瓶，冷源绝热传输管线和热冷源绝热传输管线组成，分别与冷源储气瓶和热源储气瓶相连的冷源绝热传输管线和热源绝热传输管线伸入操作室；数据采集系统由计算机、与计算机相连的数据采集装置和热电偶组成，热电偶连接于探针尖端部分。具结构简单，易于实现，安全可靠，成本低等优点。

主权项

1、一种用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置，包括：冷/热气体传输系统、操作系统和数据采集系统；所述操作系统包括：一底座；位于所述底座之上的操作室，所述操作室上端面设有观察视窗；所述操作室左右侧壁上分别设有通孔，所述操作室的前或后侧壁上设有排气孔；所述操作室内的底座之上放置一设置有二维操作导轨的二维操作平台，所述二维操作平台通过所述二维操作旋钮操纵所述二维操作导轨使所述二维操作平台作平面二维运动；在所述二维操作平台两侧分别设有连接于二维操作导轨的第一旋转机械臂和第二旋转机械臂，所述第一旋转机械臂和第二旋转机械臂端部分别安装由探针主体部分和探针尖端部分构成的探针；所述冷/热气传输系统由冷/热源储气瓶和绝热传输管线组成，所述绝热传输管线一端连通所述冷/热源储气瓶，另一端穿过所述通孔伸入所述操作室内；所述数据采集系统由计算机、与所述计算机相连的数据采集装置和一端连接于所述数据采集装置输出端的热电偶组成，所述热电偶的另一端穿过所述通孔连接于所述探针的探针尖端部分。