[发明专利]用于电场测量的耦合型光电集成传感器无效
| 申请号： | 200810104166.2 | 申请日： | 2008-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101251560A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 曾嵘;牛犇;王博;耿屹楠;华勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于电场测量的耦合型光电集成传感器，属于高电压测量技术领域。该传感器包括采用具有电光效应的晶片，在该晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成输入Y形分叉、中间互相平行的光波导；还包括在所述光波导的输出端连接的3dB耦合结构的光波导；在所述中间互相平行的两段光波导中的一段的上表面设置一个电极。本发明从根本上实现两路光波导的推挽干涉固有相位差为90度；不仅可以测量电场信号的幅值，还可用于测量电场的频率、相位等信息；且采用光波导进行信号传输，金属元件尺寸较少，对被测电场的影响很小，位置分辨能力强。无需使用电源就可以实现测量，大大提高了测量频率范围和响应速度，非常适合高电压区域的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电场 测量 耦合 光电 集成 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于电场测量的耦合型光电集成传感器，包括采用具有电光效应的晶片，在该晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成输入Y形分叉、中间互相平行的光波导；其特征在于，还包括在所述光波导的输出端连接的3dB耦合结构的光波导；在所述中间互相平行的两段光波导中的一段的上表面设置一个电极。
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