[发明专利]一种制作空气桥的方法有效
| 申请号： | 200810104222.2 | 申请日： | 2008-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101561628A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 金智 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;G03F7/26;G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作空气桥的方法，该方法仅使用一种光刻胶，具体包括：A.在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；B.对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；C.在高温固化后的基片上旋涂第二层同种光刻胶，光刻、显影，制作桥面图形；D.蒸发金属，布线；E.进行金属剥离；F.溶掉高温固化后的光刻胶。本发明仅使用一种光刻胶制作空气桥，有效地节约成本，工艺操作简单，可控性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 空气 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制作空气桥的方法，其特征在于，该方法仅使用一种光刻胶，具体包括：A、在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；B、对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；C、在高温固化后的基片上旋涂第二层同种光刻胶，光刻、显影，制作桥面图形；D、蒸发金属，布线；E、进行金属剥离；F、溶掉高温固化后的光刻胶。
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