[发明专利]活性气体环境中实时监测金属源束流变化的装置和方法无效
| 申请号： | 200810104269.9 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101260515A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 张天冲;杜小龙;梅增霞;崔秀芝;刘章龙;刘尧平;郭阳;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100190北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种活性气体环境中薄膜生长过程实时监测金属源束流变化的装置和方法。装置包括真空规、真空规电源、数字电压检测表、计算机控制系统。方法包括如下步骤：薄膜生长室内通入恒定流量的活性气体，利用数字电压检测表测定背景气压所对应的真空规电信号值；把金属源升温到薄膜生长所需的温度，并稳定10～30分钟；通过精确检测电信号的变化值来检测金属源束流的变化。利用这种方法和装置，能够在薄膜生长过程中时刻掌握金属束流量微小的变化，并可以通过温度调节来达到精确控制流量的目的，从而实现活性气体中薄膜的高质量生长，而且具有很好的可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 环境 实时 监测 金属 流变 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种活性气体环境中薄膜生长过程中实时监测金属源束流变化的装置，其特征在于，包括：真空规、真空规电源、数字电压检测表、计算机控制系统，其中真空规与含有活性气体的薄膜生长室连接，用于获取薄膜生长室中气体压强值的电信号；真空规电源与真空规相连，用于给真空规提供电源；数字电压检测表通过真空规电源与真空规相连，用于检测由真空规获取的电信号的电压；计算机控制系统与数字电压检测表相连，用于对数字电压检测仪获取的电信号进行处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810104269.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
