[发明专利]基于压电悬臂梁的液体喷头

摘要

本发明公开了属于微电子机械领域的涉及采用微加工方法实现的一种基于压电悬臂梁的液体喷头。主要结构包括，压电悬臂梁，微槽道，微喷孔。含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，作为微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与微槽衬底上微槽道对应的微喷孔，位于微槽道的上部或槽道中的压电悬臂梁、喷孔和微槽道相结合构成液体喷射结构；压电悬臂梁在电压的激励下，产生偏转形变，驱动微槽道中的液体从微喷孔中喷出。这种喷头的压电悬臂梁能实现较大的变形，可以在较低的电压下工作，减小液体驱动器的面积和微槽道的尺寸，从而实现具有更高密度喷孔阵列的液体喷头。

主权项

1.一种基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其主要结构包括压电悬臂梁，微槽道，微喷孔；其特征在于：含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，作为微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与衬底上微槽道对应的微喷孔，位于微槽道的上部或槽道中的压电悬臂梁、喷孔和微槽道相结合构成液体喷射结构；压电悬臂梁在电压的激励下，产生偏转形变，驱动微槽道中的液体从微喷孔中喷出。