[发明专利]酚聚合物以及包含该酚聚合物的光刻胶无效
| 申请号： | 200810109247.1 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101303526A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅隆 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F220/14;C08F220/30;C08F220/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及新的聚合物，其包含与聚合物骨架间隔开的酚基团和光酸不稳定基团。本发明优选的聚合物可用作化学增强型正性光刻胶的组分。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 以及 包含 光刻 | ||
【主权项】：
1、一种包含光活性组分和树脂的光刻胶组合物，所述树脂包含i)一个或多个间隔酚基团和ii)一个或多个光酸不稳定基团。
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