[发明专利]真空设备的基座定位支撑装置

摘要

一种应用于真空设备腔体内升降承载基板的基座定位支撑装置，利用一侧向定位支撑机构自基座侧面进行夹持定位，可以避免基座在真空设备腔体内的位置偏斜情形，该侧向定位支撑机构并与基座形成简支梁支撑结构，以改善大面积基座边缘的荷重悬垂变形，使大面积基板置于基座上得以进行维持平坦性与或调整水平性的效益，于大面积基板镀膜应用时，可以显著提升大面积基板薄膜沉积厚度的均匀性。

主权项

1、一种真空设备的基座定位支撑装置，应用于定位支撑基座至真空设备，该基座可于该真空设备的腔体内升降，并且具有用于承载基板的基板承接部以及连接该基板承接部的基座中心轴部，其特征在于，该真空设备的基座定位支撑装置包括：滑台机构，平行于该镀膜腔体，用于保持该基座中心轴部；以及侧向定位支撑机构，包括固定于该滑台机构以自该基座侧面进行夹持定位的多个夹爪组、分别连接各该夹爪组以用于使各该夹爪组同步运动的多个夹爪组驱动件、连接该滑台机构且用于限制各该夹爪组位置使该基座中心线不偏斜的限位件、以及提供各该夹爪组运动的夹爪组运动组件。