[发明专利]差分相位解调干涉系统

摘要

本发明是有关于一种差分相位解调干涉系统，一种差分相位解调干涉系统，包含一用以产生参考及信号光束的极化外差干涉仪、一差分放大器、一资料取得单元，及一计算单元。参考及信号光束各包括相互垂直的第一及第二线性极化波，在参考及信号光束之间具有相同的载波，信号光束被指向样品，且内含有样品的量测资讯。极化外差干涉仪产生相应于第一、第二线性极化波的第一、第二光学外差干涉电子信号输出，差分放大器接收它们并产生一差分信号输出。资料取得单元接收前述信号输出并同时量测其振幅。计算单元则用以计算被资料取得单元量测到的振幅，并依照样品的量测资讯测定至少一参数。本发明能满足振幅调整的需求，且具有快速反应及相位差侦测灵敏度的可行性并可被安装在广而多样的应用上。

主权项

1、一种差分相位解调干涉系统，用以量测一样品，其特征在于包含：一极化外差干涉仪，用以产生一沿一参考路线前进的参考光束，及一沿一信号路线前进的信号光束，该参考光束包括二相互垂直的第一及第二线性极化波，该信号光束包括二相互垂直的第一及第二线性极化波，在该参考及信号光束之间具有一载波，该信号光束被指向该样品，且内含有该样品的量测资讯，该极化外差干涉仪还进一步产生一相应于该参考及信号光束的第一线性极化波的第一光学外差干涉电子信号输出，及一相应于该参考及信号光束的第二线性极化波的第二光学外差干涉电子信号输出；一差分放大器，接收来自该极化外差干涉仪的该第一及第二光学外差干涉电子信号输出，该差分放大器并产生一差分信号输出；一资料取得单元，接收来自该极化外差干涉仪的该第一及第二光学外差干涉电子信号输出与来自该差分放大器的该差分信号输出，该资料取得单元并同时量测该第一与第二光学外差干涉电子信号输出及差分信号输出的振幅；及一计算单元，用以计算被该资料取得单元量测到的振幅，依照该样品的量测资讯测定至少一参数。