[发明专利]应用不同的呈现角度评估器件的表面结构无效
| 申请号： | 200810111062.4 | 申请日： | 2008-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101324426A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 卡尔－海因茨·贝施;马蒂亚斯·黑德里希;劳克斯·纽梅尔;托马斯·施内肯布格尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本申请涉及一种光学地检测器件(110)的表面结构(111)的方法。该方法具有以下步骤：(a)在器件(110)的方向上发射照射光线(102)；(b)通过在器件(110)和照射光线(102)之间的相对移动来扫描器件(110)，其中，以第一角度来照射器件(110)，并且其中，测量光线(107)被接收，该测量光线由器件(110)至少部分地回散射到光线探测器(106)上；以及，(c)通过在器件(110)和照射光线(102)之间的再一次的相对移动来再一次扫描器件(110)，其中，以与第一角度不同的第二角度来照射器件(110)并且测量光线(107)被再一次接收，该测量光线由器件(110)至少部分地回散射到光线探测器(106)上。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 不同 呈现 角度 评估 器件 表面 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于光学地评估电子器件(110)的三维表面结构(111)的方法，尤其用于测量器件引线(112)的共面性，所述方法包括：·在所述电子器件(110)的方向上发出由光源(101)产生的照射光线(102)，·通过在所述电子器件(110)和所述照射光线(102)之间的相对移动(122)来扫描所述电子器件(110)，其中，以第一角度来照射所述电子器件(110)并且测量光线(107)被接收，所述测量光线由所述电子器件(110)至少部分地回散射到光线探测器(106)上，以及·通过在所述电子器件(110)和所述照射光线(102)之间的再一次的相对移动(122)来再一次扫描所述电子器件(110)，其中，以与所述第一角度不同的第二角度来照射所述电子器件(110)并且测量光线(107)被再一次接收，所述测量光线由所述电子器件(110)至少部分地回散射到所述光线探测器(106)上。
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