[发明专利]自动虚拟计量的系统及方法有效
| 申请号： | 200810111271.9 | 申请日： | 2008-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101598754A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 郑芳田;黄宪成;黄宜婷;简嘉懋 | 申请（专利权）人： | 郑芳田 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 红 |
| 地址： | 台湾省台南市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动虚拟计量(Automatic Virtual Metrology；AVM)的系统与方法。AVM系统包含有一建模服务器及多个AVM服务器。建模服务器用于建构某类型的工艺装置(机台)的首套虚拟计量模型，该组虚拟计量模型包含：虚拟计量推测模型、RI(Reliance Index；信心指针)模型、GSI(GlobalSimilarity Index；整体相似度指针)模型、DQIX(Process Data Quality Index；工艺数据质量指针)模型、DQIy(Metrology Data Quality Index；计量数据质量指针)模型。在AVM方法中，建模服务器也可将此类型工艺装置的首套虚拟计量模型移植至其它同型工艺装置的AVM服务器中，接受移植的每一AVM服务器并可以自动换模(Refresh)方式恢复并维持其虚拟计量模型应有的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 虚拟 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种自动虚拟计量的系统，其特征在于，至少包括：一第一工艺装置，具有多组历史工艺数据和一组第一工艺数据，其中该第一工艺装置根据该组第一工艺数据来生产一第一工件；一第一计量机台，具有多个历史计量值并计量出该第一工件的一第一实际计量值，其中所述多个历史计量值与该第一实际计量值分别为根据所述多组历史工艺数据与该组第一工艺数据所生产的工件的实际计量值；一第一自动虚拟计量服务器，用以收集所述多组历史工艺数据和所述多个历史计量值；一建模服务器，用以使用所述多组历史工艺数据和所述多个历史计量值来建立一组虚拟计量模型；一第二工艺装置，用以根据一组第二工艺数据来生产一第二工件；一第二计量机台，用以计量出该第二工件的一第二实际计量值；以及一第二自动虚拟计量服务器，用以使用该组虚拟计量模型来对该第二工件进行虚拟计量。
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