[发明专利]优化硅片中芯片布局的方法和装置有效

专利信息
申请号: 200810114345.4 申请日: 2008-06-04
公开(公告)号: CN101315647A 公开(公告)日: 2008-12-03
发明(设计)人: 闻正锋 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人: 蒋雅洁;张瑾
地址: 100871北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种优化硅片中芯片布局的方法,包括:获取硅片的布局参数,包括硅片的洗边宽度、平边高度和大平边长度;根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图(Wafer Map);根据所生成的Wafer Map对硅片进行芯片的布局。本发明还公开了一种优化硅片中芯片布局的装置,根据布局参数确定Wafer Map;并通过偏移量(Offset)对Wafer Map进行微调,使得Wafer Map更加接近实际硅片,并且能够充分利用硅片的有效面积,使硅片上布局的有效芯片总数(Gross Die)最大化。
搜索关键词: 优化 硅片 芯片 布局 方法 装置
【主权项】:
1、一种优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,包括:获取硅片的布局参数,所述布局参数包括所述硅片的洗边宽度、平边高度和大平边长度;根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图;根据所生成的硅片曝光场布局图对所述硅片进行芯片的布局。
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