[发明专利]优化硅片中芯片布局的方法和装置有效
申请号: | 200810114345.4 | 申请日: | 2008-06-04 |
公开(公告)号: | CN101315647A | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 闻正锋 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蒋雅洁;张瑾 |
地址: | 100871北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种优化硅片中芯片布局的方法,包括:获取硅片的布局参数,包括硅片的洗边宽度、平边高度和大平边长度;根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图(Wafer Map);根据所生成的Wafer Map对硅片进行芯片的布局。本发明还公开了一种优化硅片中芯片布局的装置,根据布局参数确定Wafer Map;并通过偏移量(Offset)对Wafer Map进行微调,使得Wafer Map更加接近实际硅片,并且能够充分利用硅片的有效面积,使硅片上布局的有效芯片总数(Gross Die)最大化。 | ||
搜索关键词: | 优化 硅片 芯片 布局 方法 装置 | ||
【主权项】:
1、一种优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,包括:获取硅片的布局参数,所述布局参数包括所述硅片的洗边宽度、平边高度和大平边长度;根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图;根据所生成的硅片曝光场布局图对所述硅片进行芯片的布局。
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