[发明专利]电子束－离子束微纳米加工组合系统无效
| 申请号： | 200810116424.9 | 申请日： | 2008-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101301994A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王荣明;崔益民;孙倩;李文萍;姚骏恩 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01J37/26;H01J37/252 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，电子束、离子束能同时工作，SEM中的电子可以和带正电的离子相结合，有效减小了样品表面因电荷积累引起的对观察与分析的影响。本发明电子束－离子束微纳米加工组合系统包括有法兰、扫描电子显微镜、聚焦离子束装置、计算机，计算机为扫描电子显微镜的一部分，法兰安装在扫描电子显微镜的反应室的斜面上，聚焦离子束装置的离子枪安装在法兰的通孔中。本设计方案由于采用了电子束和离子束对称装置，具有结构稳定、简洁、美观，对中方便、精确，图像清晰、样品台稳定性高等优点，有利于提高电子束的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 离子束 纳米 加工 组合 系统 | ||
【主权项】：
1、一种电子束-离子束微纳米加工组合系统，包括有扫描电子显微镜(1)、聚焦离子束装置(2)，其特征在于：还包括有法兰(4)，法兰(4)安装在扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)的斜面(1b)上，聚焦离子束装置(2)的离子枪安装在法兰(4)的通孔(401)中；扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)上切出一斜面(1b)，斜面(1b)上开有A通孔(1c)，A通孔(1c)用于聚焦离子束装置(2)的离子枪(21)通过，且保持离子枪(21)出射的离子束(22)垂直于样品台(13)；法兰(4)为一体加工成型件，法兰(4)沿中心轴线开有通孔(401)，法兰(4)的一端为连接头(403)，法兰(4)的另一端为圆环(405)；连接头(403)的安装面(402)上设有凹槽(408)、A螺纹孔(409)，凹槽(408)内放置密封垫圈，连接头(403)的顶面(410)中心设有B螺纹孔(404)；圆环(405)的环体(411)上设有B通孔(406)，圆环(405)的环面(412)上设有C螺纹孔(407)。
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