[发明专利]一种微束微区X射线探针分析仪

摘要

本发明公开了一种微束微区X射线探针分析仪，采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，获取样品微区的图像信息，XRF能谱仪实现样品的X射线检测，并将能谱曲线发送到PC机；PC上位机软件系统，通过相应的控制设备的控制实现谱线的分析，并获取分析后的结果。本发明实现了样品的无损检测，且检测时无须对样品进行表面导电处理，同时采用了激光定位系统实现了系统的自动定位，方便了用户的操作并节约了操作所需的时间。

主权项

1、一种微束微区X射线探针分析仪，采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发，其特征在于，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，XRF能谱仪，多轴步进电机驱动器及运动控制器、PC上位机软件系统与电源系统，其中电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，并获取样品微区图像信息；XRF能谱仪，接收来自电子微动测量平台表面样品的被X光管激发后的特征X射线，实现样品的X射线检测，并形成X能谱，然后将能谱曲线发送到PC机；多轴步进电机驱动器及运动控制器实现对多个步进电机的精确运动控制及驱动；PC上位机软件系统，通过USB端口发送控制命令，控制多个步进电机的运动，控制图像信息的获取与处理，并对测量得到的谱线进行分析，将分析结果存储。