[发明专利]一种SAW压力传感器及其传感器部分的制作方法无效
申请号: | 200810116799.5 | 申请日: | 2008-07-17 |
公开(公告)号: | CN101419109A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 张兆华;王肖沐;刘理天 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01L17/00 | 分类号: | G01L17/00;G01L11/04 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐 宁;关 畅 |
地址: | 100084北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种SAW压力传感器,其特征在于:它包括传感器和无线读出电路两个部分,传感器包括一采用硅材料制成的衬底,将衬底的背面中间减薄成膜结构,膜结构为衬底的高形变区,其余部分为衬底的固定端;衬底的正面覆盖有压电材料薄膜,在压电材料薄膜上对称设置有两组SAW元件,SAW元件包括一射频换能器,一反射器和一消声器,每组SAW元件分别相应一个频率;射频换能器位于衬底的固定端,反射器位于衬底的高形变区,消声器位于射频换能器和反射器连线的延长线上;无线读出电路包括射频系统和处理系统,用于无线读出传感器的压力。本发明利用SAW元件,实现了无源无线的压力测量,并且具有制作简单,适应温度范围广,抗电磁干扰能力强的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 saw 压力传感器 及其 传感器 部分 制作方法 | ||
【主权项】:
1、一种SAW压力传感器,其特征在于:它包括传感器和无线读出电路两个部分,所述传感器部分包括一采用硅材料制成的衬底,将所述衬底的背面中间减薄成膜结构,所述膜结构为所述衬底的高形变区,未被减薄的部分为所述衬底的固定端;所述衬底的正面覆盖有压电材料薄膜,所述压电材料薄膜上对称设置有两组SAW元件,所述SAW元件包括一射频换能器,一反射器和一消声器,每组所述SAW元件分别响应一个频率;所述射频换能器位于所述衬底的固定端,且所述射频换能器连接一天线;所述反射器位于所述衬底的高形变区,所述反射器和射频换能器之间的所述压电材料薄膜形成SAW延时线;所述消声器位于所述射频换能器和反射器连线的延长线上;所述无线读出电路部分包括一射频系统和一处理系统,所述射频系统包括一本地震荡器,所述本地震荡器分别连接一频率综合器和一混频器,所述频率综合连接一功率放大器,所述功率放大器分别连接一发射天线,所述混频器连接一低噪声放大器,所述低噪声放大器连接一接收天线;所述处理系统包括一数字信号处理器、一高速采样器和一中频滤波器,所述数字信号处理器分别连接所述频率综合器和所述高速采样器,所述高速采样器连接所述中频滤波器,所述中频滤波器连接所述混频器。
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