[发明专利]一种电容式水平轴微机械音叉陀螺

摘要

本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；驱动梳齿电容的可动电极与检测质量块固定连接，检测质量块通过驱动折叠梁与框架连接，检测梳齿电容的可动电极与框架连接，框架通过检测折叠梁与锚点连接，锚点固定连接在衬底上；驱动梳齿电容的固定电极和检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可与Z轴音叉陀螺兼容，可用于实现单片三轴陀螺，并可以实现大批量生产。

主权项

1、一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；所述驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；所述锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；所述驱动梳齿电容的可动电极与所述检测质量块固定连接，所述检测质量块通过所述驱动折叠梁与所述框架连接，所述检测梳齿电容的可动电极与所述框架连接，所述框架通过所述检测折叠梁与所述锚点连接，所述锚点固定连接在所述衬底上；所述驱动梳齿电容的固定电极和所述检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在所述衬底上。