[发明专利]一种消相干和匀场装置

摘要

本发明提供一种消相干匀场装置，包括漫反射板、全反射腔以及匀化透镜。本发明利用光束引导装置将待处理光束导向漫反射板，待处理光束经漫反射板漫反射后形成多束散射光。上述多束散射光在全反射腔内以各自不同的传播路径在全反射腔侧壁一次或多次全反射，彼此间的光程差被随机调制，互不相干，因此从全反射腔的出射端口出射的光束为非相干光，然后该非相干光再经过匀化透镜在目标区域形成光照度均匀分布的光束。另外本发明还可采取机械手段使得待处理光束在漫反射板上的入射点时刻变换，以提升消相干的效果。

主权项

1.一种用于激光光束的消相干匀场装置，包括，漫反射板，具有漫反射面，所述漫反射面用于接收并漫反射所述激光光束以得到多束散射激光；全反射腔，用于在其内壁全反射所述散射激光并产生定向输出的出射光束，其中，所述全反射腔具有相对的两端，所述漫反射板设置在所述全反射腔的一端并覆盖所述端，其漫反射面朝向全反射腔；匀化透镜，所述匀化透镜设置在所述出射光束的光路中，以使得所述出射光束在到达目标区域时照度均匀分布。