[发明专利]匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置有效
| 申请号： | 200810117344.5 | 申请日： | 2008-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101640969A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王一帆 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置，首先通过传感器得到的数字量，计算阻抗的实部或虚部，然后对各个控制周期计算出的阻抗实部或虚部取差值，并对各个差值进行比较，找到突变的差值，突变的差值所在的控制周期已进入等离子体起辉带。然后再利用相应的控制方法控制电容在起辉带内进行调整，直到达到匹配。可以使匹配器在匹配过程中的调整更有针对性。匹配器进入起辉带后，采用相应的控制方式进行匹配，不会出现在起辉带附近反复调整的情况，缩短了匹配时间，优化了匹配路径，延长了匹配器的工作寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 方法 应用 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1、一种匹配方法，包括多个匹配周期，每个匹配周期中检测一次负载阻抗的值，并根据检测的结果进行阻抗匹配，其特征在于，在等离子体阻抗匹配的过程中，首先检测每个匹配周期与前一个匹配周期中所述阻抗的差值；然后，对多个所述阻抗的差值进行比较，当所述阻抗的差值出现突变时，认为该差值所在的匹配周期等离子体开始起辉，即进入等离子体的起辉带；之后，采用相应的控制方法，控制所述阻抗匹配在所述起辉带内进行。
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