[发明专利]灰尘清洁装置和方法无效
| 申请号： | 200810117861.2 | 申请日： | 2008-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101642758A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 周伟峰;明星;郭建 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申 健 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种灰尘清洁装置和方法，涉及灰尘清洁技术，能够解决现有的灰尘清洁装置中光线照射方向与灰尘清洁方向不一致的问题。本发明灰尘清洁装置，包括：输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；与所述光纤的输入端连接的光源；与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。本发明灰尘清洁方法，包括：利用光线检测灰尘；在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。本发明适用于洁净室中的设备除灰。 | ||
| 搜索关键词： | 灰尘 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种灰尘清洁装置，其特征在于，包括：输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；与所述光纤的输入端连接的光源；与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。
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