[发明专利]平板加热器及等离子体加工设备

摘要

本发明公开了一种平板加热器及等离子体加工设备。在平板加热器的主支撑和加热板的边缘部位之间设置辅助支撑。辅助支撑可以是柱状四角支撑、柱状多点支撑，也可以是板状、圆锥状、棱锥状支撑。通过辅助支撑的辅助力量和反向热膨胀效果，改善了加热板平面的变形情况，维持平整性，使加热板与其上方的工艺基板接触良好，保证其加热性能和极板接地性能良好，机械结构稳定、对工艺参数的均匀性影响小，并可以通过调节辅助支撑的长度，有效的减少辅助支撑的更换和维护操作，降低支撑部件的维护成本。主要应用于等离子增强化学气相淀积设备或其它的等离子体加工设备。

主权项

1、一种平板加热器，包括主支撑、加热板，所述主支撑支撑于所述加热板的中部，其特征在于，所述加热板的边缘部位与所述主支撑之间连接有辅助支撑。