[发明专利]纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备无效
| 申请号： | 200810120387.9 | 申请日： | 2008-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101344468A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 文东辉;陈锋;张克华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人： | 王兵;王利强 |
| 地址： | 310014*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，包括机架、脉冲电源、用于夹持待加工工件的夹具、超声换能器、用于存放抛光液的容器、超声反射端以及用于调整超声波反射端与超声换能器之间距离的调谐机构，所述超声换能器、容器以及调谐机构均安装在机架上方，所述脉冲电源与所述超声换能器连接，所述容器位于所述超声换能器的下方，所述夹具位于所述容器的上方，所述夹具与带轮传动机构连接，所述超声波反射端位于容器下方，所述超声波反射端与所述超声换能器配合，所述超声反射端与所述调谐机构连接。本发明提供一种适用性好、具有良好的抛光效果的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 力学 表征 试样 悬浮 抛光 设备 | ||
【主权项】：
1、一种纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述声悬浮抛光设备包括机架、脉冲电源、用于夹持待加工工件的夹具、超声换能器、用于存放抛光液的容器、超声反射端以及用于调整超声波反射端与超声换能器之间距离的调谐机构，所述超声换能器、容器以及调谐机构均安装在机架上，所述脉冲电源与所述超声换能器连接，所述容器位于所述超声换能器的下方，所述夹具位于所述容器的上方，所述夹具与带轮传动机构连接，所述超声波反射端位于容器下方，所述超声波反射端与所述超声换能器配合，所述超声反射端与所述调谐机构连接。
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