[发明专利]直拉式单晶生长炉无效
| 申请号： | 200810122724.8 | 申请日： | 2008-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101319352A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 冉茂华 | 申请（专利权）人： | 常州中弘光伏有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B27/02 |
| 代理公司： | 常州市江海阳光专利代理有限责任公司 | 代理人： | 林倩 |
| 地址： | 213000江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题，本发明提供了一种直拉式单晶生长炉，其包括：氩气输入管、与氩气输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于：经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa至0.9×103Pa，氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置；其包括：中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔；石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉式单晶 生长 | ||
【主权项】：
1、一种直拉式单晶生长炉，包括：设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)、与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)；其特征在于：经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×103Pa至0.9×103Pa，氩气流量为30L/min。
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