[发明专利]投影曝光设备中的成像装置有效
| 申请号： | 200810125368.5 | 申请日： | 2002-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101308333A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | W·哈梅尔;J·菲舍尔;K·－E·奥贝勒;E·默茨;R·罗尔;K·里夫;S·舍恩加特;M·诺伊迈尔;B·特罗斯巴赫;T·拉赛尔;U·韦伯;M·米尔贝耶;H·霍尔德雷尔;A·科尔;J·韦伯;J·利佩尔特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 徐丁峰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 披露的是一种用于微刻的投影曝光设备(1)的成像装置(7)，其包括至少一个光学元件(10、33、34)和至少一个操纵装置(9、36、41)，该操纵装置设置有线性驱动器(11)，用于操纵光学元件(10、33、34)的位置。该线性驱动器(11)包括驱动的部分(14)和不驱动的部分(15)，它们沿着轴线(17)朝着彼此可移动。这两个部分(14、15)至少临时地经由沿着轴线(17)可操作的功能元件(18)，以及经由在一个方向上可操作的功能元件(19)来至少近似平行于移动轴线(17)来相互连接。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 曝光 设备 中的 成像 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于微刻的投影曝光设备中的成像装置，其包括至少一个光学元件和至少一个操纵装置，该操纵装置具有线性驱动器，用于操纵光学元件的位置，其特征在于，该线性驱动器(11)具有驱动的子区域(14)和不驱动的子区域(15)，它们在移动轴线(17)的方向上可相对于彼此移动，这些子区域(14、15)至少临时地经由具有至少近似垂直于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(18)，以及经由具有至少近似平行于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(19)来相互连接。
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