[发明专利]可降低污染物的衬底传送及支撑系统有效
| 申请号： | 200810126914.7 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101383317A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 维克·D·帕克海;马修·利奥波德;蒂莫西·罗南;托德·W·马丁;爱德华·黄;尼汀·库拉纳;徐松文;理查德·费伊;克里斯托弗·哈格蒂;迈克尔·赖斯;达里尔·安杰洛;库尔特·J·阿曼;马修·C·蔡;史蒂夫·森索尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/67;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁 挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底提升组件以及一种衬底处理设备，其中衬底提升组件用于将一衬底举离一衬底支撑件及运送该衬底，该提升组件包含：(a)一箍状物，其大小可配合于该衬底支撑件的一周缘；及(b)安装在该箍状物上的一对拱形鳍状物，每个拱形鳍状物具有一对相对的末端，其具有向内辐射状延伸的突出部，每个突出部具有一突起的突出物以升举一衬底，以使该衬底实质上仅接触到该突起的突出物，从而在使用该对鳍状物以从该衬底支撑件升举该衬底时，可以使与该突出部的接触最小。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 污染物 衬底 传送 支撑 系统 | ||
【主权项】：
1、一种衬底提升组件，用于将一衬底举离一衬底支撑件及运送该衬底，该提升组件包含：(a)一箍状物，其大小可配合于该衬底支撑件的一周缘；及(b)安装在该箍状物上的一对拱形鳍状物，每个拱形鳍状物具有一对相对的末端，其具有向内辐射状延伸的突出部，每个突出部具有一突起的突出物以升举一衬底，以使该衬底实质上仅接触到该突起的突出物，从而在使用该对鳍状物以从该衬底支撑件升举该衬底时，可以使与该突出部的接触最小。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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