[发明专利]微振荡元件与微振荡元件阵列无效

专利信息
申请号: 200810127305.3 申请日: 2008-06-27
公开(公告)号: CN101334526A 公开(公告)日: 2008-12-31
发明(设计)人: 壶井修;高马悟觉;曾根田弘光;奥田久雄;水野义博;松本刚;佐胁一平 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;B81B3/00;G01P9/04
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 冯志云
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种微振荡元件,包括基座框架、振荡部和使基座框架与振荡部彼此连接的连接部。振荡部具有可动功能部、连接至可动功能部的第一驱动电极以及连接至第一驱动电极的配重部。连接部限定振荡部的振荡运动的轴线。固定至基座框架的第二驱动电极与第一驱动电极配合工作产生用于振荡运动的驱动力。
搜索关键词: 振荡 元件 阵列
【主权项】:
1.一种微振荡元件,包括:基座框架;振荡部,其包括可动功能部、连接至所述可动功能部的第一驱动电极以及在所述可动功能部的相对侧连接至第一驱动电极的配重部;连接部,其使所述基座框架与所述振荡部彼此连接,并限定所述振荡部的振荡运动的轴线;第二驱动电极,其与所述第一驱动电极配合工作产生用于振荡运动的驱动力,所述第二驱动电极固定至所述基座框架。
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