[发明专利]晶圆传送片

摘要

一种用于晶圆传送自动控制装置的晶圆传送片，其具有改善结构的一囊袋空间，以在晶圆传送自动控制装置的拾取与传送期间内最小化晶圆的损坏。传送片具有一于传送片后面的斜表面，以允许不准确晶圆在斜面下滑，而又不伤害到晶圆表面。

主权项

1.一种用于晶圆传送自动控制装置的晶圆传送片，包含:一基座，用来支撑一晶圆，所述基座延伸的一长度比所述晶圆直径更长，且具有一前端与一后端；一或多个前挡部，设置在所述基座的前端；一后挡部，设置在所述基座的后端，所述后挡部定义一下部分与一上部分，且包含:一竖直部，形成所述后挡部的下部分；以及一斜面部分，在所述竖直部上，形成所述后挡部的上部分，所述斜面部分包含自水平面起具有大约20至45度斜角的一表面，且具有小于大约10Ra的一表面粗糙度，其中所述前挡部与所述后挡部定义一囊袋，以在通过所述传送自动控制装置的传送运动期间内安全地接收并固持所述晶圆。