[发明专利]半导体模块的制造方法、半导体模块及便携设备有效
申请号: | 200810127747.8 | 申请日: | 2008-01-31 |
公开(公告)号: | CN101303990A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 冈山芳央;柳瀬康行 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/48 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体模块的制造方法、半导体模块及便携设备,所述制造方法可以提高在使铜板的突起结构和半导体元件的电极为相向的状态下进行连接时的定位精度的同时,谋求降低半导体模块的制造成本。准备在表面设置半导体元件的电极和图案部的半导体基板。形成具有第一主面及其相反侧的第二主面,并且包括设置在第一主面的突起部和设置在第二主面的沟部的铜板。通过调整铜板的位置使图案部和与其对应的沟部具有规定位置关系来进行突起部和电极的定位,然后经绝缘层压接铜板的第一主面侧和半导体基板,在突起部贯通绝缘层的状态下电连接突起部和电极。在第二主面侧形成规定图案的再布线图案。 | ||
搜索关键词: | 半导体 模块 制造 方法 便携 设备 | ||
【主权项】:
1.一种半导体模块的制造方法,其特征在于:包括第一工序,准备在表面设置半导体元件、与该半导体元件电连接的电极和规定的第一图案部的基板;第二工序,准备具有第一主面及其相反侧的第二主面,并且包括从所述第一主面突出设置的突起部和在所述第二主面设置的规定图案的沟部的金属板;第三工序,通过调整金属板的位置使所述第一图案部和与其对应的沟部具有规定位置关系来进行所述突起部和所述电极的定位,然后经绝缘层压接所述金属板的所述第一主面侧和所述基板,在所述突起部贯通所述绝缘层的状态下,电连接所述突起部和所述电极;第四工序,在所述金属板的所述第二主面侧形成规定图案的布线层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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