[发明专利]炉内气氛活化方法及其装置

摘要

本发明涉及一种气体喷射器，其中包括在气体喷射器中气体在注入热处理炉室之前经过高压/低电流放电区。气体的电活化促进了气体、炉腔中的气体和室内工件之间期望的反应。优选的是，热电极是带电的而气体喷射器的其他部分和炉子是接地的。

主权项

1、一种与受控气氛反应器共同使用的活化气体喷射器，该受控气氛反应器具有反应器室，所述活化气体喷射器包括：限定了活化室的壳体，该活化室具有出口；适合于与第一气体供给源连接的第一进气口并且通过该进气口将第一气体引入活化室内；延伸到活化室并且终止在活化室内的第一电极；连接到第一电极的电源，当通电时提供平均电压输出至少1KV和平均电流输出少于10A；和暴露于活化室中并且相对于第一电极设置为地电位的第二电极；其中设置第一和第二电极以使得当所述电源通电时在第一电极和第二电极之间发生放电，所述放电发生的区域定义为放电区；和其中活化室、第一电极、第二电极和第一进气口的设置使得第一气体在通过出口离开所述活化室之前通过放电区。