[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、以及层间绝缘膜和微透镜及它们的制备方法有效
| 申请号： | 200810130172.5 | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101359174A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 内池千浩;花村政晓;滨田谦一;饭岛孝浩 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/008 | 分类号： | G03F7/008;G03F7/00;C08F220/32;C08F4/04;C08F220/10;C08F212/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其含有[A]聚合物、和[B]1，2－二叠氮醌化合物，所述[A]聚合物具有如下基团：选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团，(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2～10的亚烷基或者烷基亚甲基，Y是单键、－CO－、－O－CO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)或者－NHCO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)，n是2～10的整数，X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2～70的n价烃基，“+”表示连接键)。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 以及 绝缘 透镜 它们 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有[A]聚合物、和[B]1，2-二叠氮醌化合物，所述[A]聚合物具有如下基团：选自羧基和羧酸酐基的至少1种基团，选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少1种基团，和下述式(1)表示的n价基团，(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2～10的亚烷基或者烷基亚甲基，Y是单键、-CO-、-O-CO-*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)或者-NHCO-*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)，n是2～10的整数，X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2～70的n价烃基，或者n是3而X是下述式(2)表示的3价基团，(式(2)中，RII分别独立地表示亚甲基或碳原子数2～6的亚烷基，“*”分别表示连接键)“+”表示连接键)。
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