[发明专利]双轴式定位方法无效

专利信息
申请号: 200810130227.2 申请日: 2008-06-16
公开(公告)号: CN101607354A 公开(公告)日: 2009-12-23
发明(设计)人: 叶公旭;苏纪为 申请(专利权)人: 东捷科技股份有限公司
主分类号: B23K37/04 分类号: B23K37/04;B23K37/047;B23K26/38
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汤保平
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种双轴式定位方法,包含下列各步骤:a)先利用一气浮平台承载一基板且该基板具有二标记,再利用二沿该气浮平台于一X轴位移的夹具夹持该基板,且使该基板位于一定位位置;b)当该基板位于该定位位置,利用二视觉装置分别对所述标记进行比对,以辨识该基板于一Y轴方向的一偏移角度;c)当该偏移角度不等于零,所述夹具其中之一是沿该X轴方向位移,直至该偏移角度等于零,以校正该基板的位置。
搜索关键词: 双轴式 定位 方法
【主权项】:
1.一种双轴式定位方法,其特征在于,其包含下列各步骤:a)先利用一气浮平台承载一基板且该基板具有二标记,再利用二沿该气浮平台于一X轴方向位移的夹具夹持该基板,且使该基板位于一定位位置;b)当该基板位于该定位位置,利用二视觉装置分别对所述标记进行比对,以辨识该基板于一Y轴方向的一偏移角度;以及c)当该偏移角度不等于零,所述夹具其中之一是沿该X轴位移,直至该偏移角度等于零,以校正该基板的位置。
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