[发明专利]双轴式定位方法无效
申请号: | 200810130227.2 | 申请日: | 2008-06-16 |
公开(公告)号: | CN101607354A | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
发明(设计)人: | 叶公旭;苏纪为 | 申请(专利权)人: | 东捷科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K37/04 | 分类号: | B23K37/04;B23K37/047;B23K26/38 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种双轴式定位方法,包含下列各步骤:a)先利用一气浮平台承载一基板且该基板具有二标记,再利用二沿该气浮平台于一X轴位移的夹具夹持该基板,且使该基板位于一定位位置;b)当该基板位于该定位位置,利用二视觉装置分别对所述标记进行比对,以辨识该基板于一Y轴方向的一偏移角度;c)当该偏移角度不等于零,所述夹具其中之一是沿该X轴方向位移,直至该偏移角度等于零,以校正该基板的位置。 | ||
搜索关键词: | 双轴式 定位 方法 | ||
【主权项】:
1.一种双轴式定位方法,其特征在于,其包含下列各步骤:a)先利用一气浮平台承载一基板且该基板具有二标记,再利用二沿该气浮平台于一X轴方向位移的夹具夹持该基板,且使该基板位于一定位位置;b)当该基板位于该定位位置,利用二视觉装置分别对所述标记进行比对,以辨识该基板于一Y轴方向的一偏移角度;以及c)当该偏移角度不等于零,所述夹具其中之一是沿该X轴位移,直至该偏移角度等于零,以校正该基板的位置。
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