[发明专利]一改进的红外传感微型机械装置有效
| 申请号： | 200810130698.3 | 申请日： | 2008-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101387554A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 马智·欧德曼;金光海;赵京 | 申请（专利权）人： | 马智·欧德曼;金光海;赵京 |
| 主分类号： | G01J5/40 | 分类号： | G01J5/40 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一微机械装置，它包括一改进的传感元件和一个改进的弯曲元件。传感元件包括比相关技术更薄、更轻、更扁平的多层结构。弯曲元件包括由分别响应红外光源照明以致扭曲该传感元件的结构。微机械像素可以设置形成两维的红外感光像素阵列。微机械像素的阵列可以应用到安全和监视、消防、汽车安全系统和工业监测领域的成像装置。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 红外 传感 微型 机械 装置 | ||
【主权项】：
1、一微机械像素包括：(a)一传感元件，它包含一光学反射体和一被一定距离隔开的红外吸收体层，该距离等于所涉及的红外线波长的大约四分之一或倍数，从而形成一光学吸收腔；所述光学反射体由设置于一介质层的周围并与其接触的一单金属层或一对金属层组成；(b)一对弯曲元件，每个连接到所述传感元件的第一端，每个所述弯曲元件由两个多层悬臂组成，该多层悬臂由一热隔离区域分开，且每个所述多层悬臂由一低膨胀层和一高膨胀层组成，所述弯曲元件加热时相互回应；以及(c)一由能传输所述红外线波长的材料组成的底层，每一所述弯曲元件的第二端与所述底层连接。
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