[发明专利]检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法无效
| 申请号： | 200810131197.7 | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101358934A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 井殿多闻 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘杰;刘宗杰 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法。本发明的检查装置由于具备：条斑检测部，在从第1方向照射光后拍摄排列在检查对象基板上的像素的图像L、与从不同于上述第1方向的第2方向照射光后拍摄上述像素的图像R中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部，在图像L和图像R中，分别在检查对象基板上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔T抽取被检测到的多个条斑；和检测对象不规则抽取部，抽取图像L和图像R双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑，所以可仅检测由于对正常膜厚的像素产生了膜厚差的像素存在而产生的特定周期的条斑。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 系统 滤色镜 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，检测多个起伏排列在被检查面上的被检查物中产生的条斑，其中具备：条斑检测部，在从第1方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第1图像、与从不同于上述第1方向的第2方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第2图像中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部，在上述第1和第2图像中，分别在上述被检查面上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔抽取被检测到的多个条斑；和检测对象不规则抽取部，抽取上述第1和第2图像双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑。
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