[发明专利]检查装置、探针卡及检查方法无效
| 申请号： | 200810133596.7 | 申请日： | 2008-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101349736A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 小松茂和;篠崎大;坂本胜昭 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种检查装置、探针卡及检查方法，该检查装置在检查之前利用熔结现象来实现探针与晶片上的电极之间的电导通，通过简单的电路结构来实现较短的检查时间。在检查装置的探针卡上的两个一组的各探针对的每个探针对上形成熔结电路。在各熔结电路上连接电容器。各熔结电路并联连接在具有充电用电源的电力提供电路上。通过电力提供电路对各电容器一起进行蓄电。使探针对接触晶片W的电极P，通过在电容器中蓄积的电力对探针对施加高电压，利用熔结现象来实现各探针与电极P之间的电导通。其后根据被传送到各探针的检查用的电信号来进行电气特性的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 探针 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，使探针接触被检查体的端子，对被检查体的电气特性进行检查，该检查装置的特征在于，具有：多个熔结电路，具有两个一组的探针对和连接到该探针对的充放电部，在上述探针对接触到被检查体的端子的状态下通过上述充放电部的电力对上述探针对施加电压，利用熔结现象来实现探针与端子之间的电导通；以及电力提供电路，其连接到上述多个熔结电路，对上述各熔结电路的充放电部进行蓄电。
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