[发明专利]微机电系统的感应构件及麦克风元件无效
| 申请号： | 200810135374.9 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101633489A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 吴名清;曾明溪 | 申请（专利权）人： | 亚太优势微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H04R7/00 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 | 代理人： | 万学堂;桑丽茹 |
| 地址： | 台湾省新竹县宝山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统的感应构件，包括：一基材、一薄膜及多数支撑体。该基材形成有一开孔，该薄膜位于该开孔处并与该基材相间隔，所述支撑体围绕该薄膜设置，且连接于该薄膜与该基材间用以支撑该薄膜。其特征在于：各该支撑体具有一凹面朝向该薄膜的曲弧段、一由该曲弧段的中间区域凸伸至该薄膜的连接段，及二分别由该曲弧段两端弯折延伸至该基材的固持段。该支撑体可有效吸收残余应力对薄膜的影响，且在出平面方向上具有良好的支撑刚性，而能增加该感应构件的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 感应 构件 麦克风 元件 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统的感应构件，包括：一基材、一薄膜及多数支撑体；该基材形成有一开孔，该薄膜位于该开孔处并与该基材相间隔，所述支撑体围绕该薄膜设置，且连接于该薄膜与该基材间用以支撑该薄膜；其特征在于：各该支撑体具有一凹面朝向该薄膜的曲弧段、一由该曲弧段的中间区域凸伸至该膈膜的连接段，及二分别由该曲弧段两端弯折延伸至该基材的固持段。
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