[发明专利]一种显影液喷头无效
| 申请号： | 200810135432.8 | 申请日： | 2008-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101644903A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 胡清强;陈晓琪;鲁旭光;余浩 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域。尤其涉及一种显影液喷头。该显影液喷头含有中空的面板；面板的一侧具有多个穿透面板一侧的面板壁的孔，上述孔排列成平面状；面板的另一侧设置有显影液的入端管道和出端管道。采用本发明的显影液喷头，显影液在晶片上的停留时间没有差异，且喷涂更均匀，还可解决现有的E2/E3/LD型显影液喷头的局部喷涂不足或喷涂过量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 喷头 | ||
【主权项】：
1.一种显影液喷头，其特征在于含有中空的面板；面板的一侧具有多个穿透面板一侧的面板壁的孔，上述孔排列成平面状；面板的另一侧设置有显影液的入端管道和出端管道。
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