[发明专利]电子部件安装方法及装置有效
申请号: | 200810135482.6 | 申请日: | 2008-08-07 |
公开(公告)号: | CN101364530A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
发明(设计)人: | 小川博 | 申请(专利权)人: | JUKI株式会社 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/50;H01L21/58;H01L21/60;H01L21/68 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种电子部件安装方法及装置,其使微小的芯片也可以正确地拾取。在使晶片状态芯片与顶推器的推杆的顶起联动由移送搭载头的吸附嘴吸附,运送搭载在基板上时,将上表面带有表示吸附嘴位置的吸附嘴标记的吸附嘴位置检测定位器,由吸附嘴吸附而载置于晶片位置上,将设置在移送搭载头上的表示移送搭载头位置的移送搭载头基准标记,由与顶推器联动而移动的识别照相机摄像,使移送搭载头退避,将留在晶片位置上的吸附嘴位置检测定位器上的吸附嘴标记由识别照相机摄像,求出移送搭载头基准标记和吸附嘴标记的偏差,考虑该偏差而控制顶推器的位置,以使芯片的中心、吸附嘴中心和推杆中心一致。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 安装 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电子部件安装方法,其用于使晶片状态的芯片与顶推器的推杆的顶起联动,由移送搭载头的吸附嘴吸附,移送并搭载至基板上,其特征在于,包括下述步骤:将上表面带有表示吸附嘴位置的吸附嘴标记的吸附嘴位置检测定位器,由吸附嘴吸附,载置于芯片拾取位置上;由与顶推器联动而进行移动的识别照相机,对表示移送搭载头位置的移送搭载头基准标记进行摄像,该移送搭载头基准标记设置在移送搭载头的下述位置上,即,从识别照相机至移送搭载头基准标记的光轴距离,与从识别照相机至推杆前端的光轴距离,大致相同;使移送搭载头退避,由上述识别照相机,对留在晶片位置上的上述吸附嘴位置检测定位器上的吸附嘴标记进行摄像;求出上述移送搭载头基准标记和吸附嘴标记之间的偏差;以及考虑该偏差而控制顶推器的位置,以使芯片中心、吸附嘴中心和推杆中心一致,从而拾取芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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