[发明专利]基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法

摘要

一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。

主权项

1、一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺，其特征在于：它包括支撑质量块(2)、第一悬臂梁(3)、第二悬臂梁(4)、第一驱动梁(5)、第二驱动梁(6)、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)对称布置于支撑质量块(2)的两端，支撑质量块(2)通过第一悬臂梁(3)与第一驱动梁(5)相连，支撑质量块(2)通过第二悬臂梁(4)与和第二驱动梁(6)相连，所述第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的布置方向与第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的端部。