[发明专利]有机电致发光器件和其制造方法无效
| 申请号： | 200810149061.9 | 申请日： | 2005-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101369637A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 竹内万善;城所敦;富田陵一;北村一典 | 申请（专利权）人： | 株式会社丰田自动织机 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/54;H01L51/52;H01L51/50;C23C16/30;C23C16/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李平英 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在玻璃基片上形成包括阳极、有机光发射层及阴极的一种电致发光器件，在该电致发光元件表面上形成由Si及SiNx构成的覆盖该电致发光元件的密封薄膜，其中键合硅原子的硅原子数目对键合氮原子的硅原子数目的比等于或大于0.6但等于或小于2.0。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造有机电致发光器件的方法，该方法包括下述步骤：在基片上形成至少具有第一电极层、有机光发射层和第二电极层的电致发光元件；和提供至少SiH4气体和N2气，并调节SiH4气体的流率和所提供的电能，从而利用等离子体CVD方法，以等于或高于300纳米/分钟但等于或低于600纳米/分钟的淀积速率，在所述电致发光元件的表面上，形成由Si和硅的氮化物构成的密封薄膜以覆盖该电致发光元件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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