[发明专利]一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法无效
| 申请号： | 200810150464.5 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101329508A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈烽;杨青;刘贺炜;司金海;侯洵 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B23K26/00;B23K26/04;B23K26/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，该方法将适合制作微纳压印模具的硬质材料固定在三维精密平移台上，利用显微物镜将一束飞秒激光聚焦在样品表面，根据微纳结构与器件压印模斑的结构设计，通过飞秒激光刻蚀和三维精密移动平台的配合运动对材料进行微纳加工，实现微纳压印模版的制备。该发明将飞秒激光微纳加工技术同成熟的压印成型技术结合，可以批量制备出复杂及三维的微纳结构与器件，大大提高了微纳结构与器件的制备效率，促进了微纳压印技术与飞秒激光微纳加工技术的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 制备 压印 模版 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，其特征在于，将一束飞秒激光经显微物镜聚焦在硬质材料表面，通过飞秒激光对材料的刻蚀以及三维精密移动平台配合，实现微纳压印模版的制备，具体步骤如下：1)选取制作微纳压印模版的硬质材料；2)将用于制作微纳压印模版的硬质材料固定在三维精密移动平台上，选用脉冲宽度为30～150fs、波长为325～1200nm的超短脉冲激光，经一个显微物镜聚焦到材料表面；3)超短脉冲激光单脉冲能量10nJ～5mJ、脉冲重复频率10Hz～100kHz、脉冲宽度30～150fs、三维精密移动平台移动速率0.1μm/s～0.6mm/s，使激光聚焦在硬质材料表面，加工微纳压印模版；4)在加工出微纳压印模版的基本形貌后，采取第二次形貌重复扫描的方法，超短脉冲激光单脉冲能量10nJ～5μJ、脉冲重复频率10Hz～100kHz、脉冲宽度30～150fs，以及三维精密移动平台移动速率0.1μm/s～100μm/s，以控制微纳压印模版的形貌的精度与表面粗糙度，制得微纳压印模版。
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