[发明专利]微电子机械微波频率检测器及其制备方法

摘要

微电子机械微波频率检测器及其制备方法是一种结构非常简单，可对未知微波信号进行测量、测量信号的幅度范围大、不需要消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测器及其制备方法，该检测器以砷化镓为衬底，在衬底上设有一分三功率分配器(a)、共面波导传输线(b)、二合一功率合成器(c)、固支梁结构(d)和热耦结构(e)构成微电子机械微波频率检测器。

主权项

1. 一种微电子机械微波频率检测器，其特征在于该检测器以砷化镓为衬底，在衬底上设有一分三功率分配器(a)、共面波导传输线(b)、二合一功率合成器(c)、固支梁结构(d)和热耦结构(e)：一分三功率分配器(a)由共面波导构成的端口一(1)、端口二(2)、端口三(3)、端口四(4)、不对称共面带线(5)和氮化钽电阻(6)组成，端口一(1)通过不对称共面带线(5)分别接端口二(2)和端口三(3)，通过共面波导结构接端口(4)，在与端口二(2)、端口四(4)之间和端口三(3)、端口四(4)之间相接的带线之间连接有氮化钽电阻(6)；二合一功率合成器(c)由共面波导构成的端口一(7)、端口二(8)、端口三(9)、不对称共面带线(5)和氮化钽电阻(6)组成，端口一(7)和端口二(8)通过不对称共面带线(5)分别接端口三(9)，在与端口一(7)和端口二(8)相接的两不对称共面带线(5)之间连接有氮化钽电阻(6)；固支梁结构(d)以砷化镓为衬底，在衬底上的中间设有CPW的信号线(11)，在CPW的信号线(11)的两旁分别设有CPW的地线(10)，在CPW的信号线(11)外的两旁分别设有传感电极(15)，传感电极(15)通过传感电极引线穿通膜桥(13)接电容检测端口(12)的一个端，CPW的地线(10)接电容检测端口(12)的另一个端，在CPW地线(10)中央设有在固支梁(14)，在固支梁14下方的CPW的信号线(11)、传感电极引线穿通膜桥(13)下的信号传输线和传感电极(15)表面设有氮化硅介质层(16)。热耦结构(e)由共面波导的末端并联两个热阻(17)，贴近热阻的热耦对(18)，增加冷端温度稳定性的金属块(19)组成，热耦的冷热段分别连接到热耦电压检测端口(20)上。