[发明专利]具有气体缓冲均匀功能的离子源有效
| 申请号： | 200810155402.3 | 申请日： | 2008-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101685753A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 谢立 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215021江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有气体缓冲均匀功能的离子源，包括气源、电弧室、用于连接所述的气源及电弧室的导管，所述的电弧室包括设置有灯丝的电弧腔，所述的电弧室的气体入口处设置有气体容腔，所述的气体容腔的进气口与所述的导管连通、所述的气体容腔的出气口与所述的电弧室连通。采用上述结构的离子源，气体能够持续、均匀、稳定的流入电弧室的气体容腔，能够获得持续稳定的电离效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气体 缓冲 均匀 功能 离子源 | ||
【主权项】：
1、一种具有气体缓冲均匀功能的离子源，包括气源、电弧室(1)、用于连接所述的气源及电弧室的导管(2)，所述的电弧室(1)包括设置有灯丝的电弧腔(12)，其特征在于：所述的电弧室的气体入口处设置有气体容腔(11)，所述的气体容腔(11)的进气口与所述的导管(2)连通、所述的气体容腔(11)的出气口与所述的电弧室(1)连通。
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