[发明专利]微电子机械二选一微波开关及其制备方法无效
| 申请号： | 200810156451.9 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101369679A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;杨乐;张志强 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;H01P11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 微电子机械二选一微波开关及其制备方法其结构简单、隔离度高、静态功耗低，且便于集成。以砷化镓为衬底(1)，第一微带线(3)、第二微带线(4)、第一锚区(5)、第一锚区(6)、膜桥(17)、电极(2)采用金为材料制备在衬底上，此外还包含覆盖在第一微带线(3)、第二微带线(4)和电极(2)上的第一氮化硅介质层(7)、第二氮化硅介质层(8)、第三氮化硅介质层(9)以及在衬底背面生长的金层(18)；其中，第一微带线(3)、第二微带线(4)分别位于电极(2)的两侧，而第一锚区(5)、第二锚区(6)则分布在开关结构的两侧；膜桥(17)悬空横跨在电极(2)和第一微带线(3)、第二微带线(4)上面，并由第一锚区(5)、第二锚区(6)进行支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 二选一 微波 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械二选一微波开关，其特征在于，通过制作两个结构相同的MEMS膜结构，控制其中一个MEMS膜桥的下拉来完成交流信号的选择，微机械二选一开关以砷化镓为衬底(1)，第一微带线(3)、第二微带线(4)、第一锚区(5)、第一锚区(6)、膜桥(17)、电极(2)采用金为材料制备在衬底上，此外还包含覆盖在第一微带线(3)、第二微带线(4)和电极(2)上的第一氮化硅介质层(7)、第二氮化硅介质层(8)、第三氮化硅介质层(9)以及在衬底背面生长的金层(18)；其中，第一微带线(3)、第二微带线(4)分别位于电极(2)的两侧，而第一锚区(5)、第二锚区(6)则分布在开关结构的两侧；膜桥(17)悬空横跨在电极(2)和第一微带线(3)、第二微带线(4)上面，并由第一锚区(5)、第二锚区(6)进行支撑。
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