[发明专利]用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件

摘要

本发明公开一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件。在掩模组件中，清洗该掩模组件以后残留在单元掩模和框架之间的间隙中的清洗液可被最少化。掩模组件包括框架和多个单元掩模。框架包括围绕一开口的一对第一支撑部和一对第二支撑部。多个单元掩模具有至少一组图案开口，多个单元掩模被固定在第一支撑部上，同时多个单元掩模上施加有张紧力。第一支撑部包括第一表面和第二表面。多个单元掩模被固定在第一表面上，并且，第二表面从第一表面沿多个单元掩模的厚度方向具有相对第一表面的高度差。

主权项

1、一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件，所述掩模组件包括：包括一对第一支撑部和一对第二支撑部的框架，其中所述两对支撑部被彼此连接，以使连接后的所述两对支撑部的内周界限定一开口；以及具有至少一组图案开口的多个单元掩模，其中所述多个单元掩模被固定至所述第一支撑部，同时所述多个单元掩模上施加有张紧力，所述多个单元掩模具有长度和厚度，其中，所述第一支撑部包括：连接至所述多个单元掩模的一部分的第一子区域，其中当从所述多个单元掩模的厚度方向观察时，所述第一子区域与所述多个单元掩模的所述一部分重叠，并且，所述第一子区域具有沿所述厚度方向测量的第一高度，以及沿所述多个单元掩模的长度方向从所述第一子区域延伸的第二子区域，其中当从所述厚度方向观察时，所述第二子区域未被连接至所述多个单元掩模，并与所述多个单元掩模不重叠，并且，所述第二子区域具有与所述第一高度不同的第二高度。