[发明专利]三氯氢硅生产尾气回收的方法及其专用设备有效
| 申请号： | 200810163037.0 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101444681A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 李文宁;徐慧芬;周桂仙;汪建阳;邱贤辉 | 申请（专利权）人： | 浙江富士特硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;B01D53/14;B01D53/18 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 | 代理人： | 王从友 |
| 地址： | 324004浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及化工技术领域的一种尾气处理工艺，尤其涉及一种三氯氢硅生产尾气的回收方法和该方法专用的设备。三氯氢硅生产尾气的回收方法，该方法包括以下的步骤：将三氯氢硅合成产生的尾气经加压后冷凝，使氯硅烷被冷凝下来形成冷凝液；不凝气体进入吸收塔，吸收塔内用氯硅烷吸收氯化氢得到氯硅烷吸收液，粗氢气从吸收塔塔顶出来；然后将冷凝液和氯硅烷吸收液送到解析塔解析氯硅烷中溶解的氯化氢，氯化氢从解析塔塔顶出来；解析后的氯硅烷进入回收工序。另外，本发明还公开了上述的方法的专用设备。本发明具有简单、实用和回收率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 生产 尾气 回收 方法 及其 专用设备 | ||
【主权项】：
1. 三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于该方法包括以下的步骤：①将三氯氢硅合成产生的尾气经加压后冷凝，使尾气中的大部分氯硅烷被冷凝下来形成冷凝液；②不凝气体进入吸收塔(3)，吸收塔(3)内用氯硅烷吸收氯化氢得到氯硅烷吸收液，粗氢气从吸收塔(3)塔顶出来；③然后将冷凝液和氯硅烷吸收液送到解析塔(4)解析氯硅烷中溶解的氯化氢，氯化氢从解析塔(4)塔顶出来；④解析后的氯硅烷进入回收工序。
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