[发明专利]抛光设备无效
| 申请号： | 200810165796.0 | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101585164A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;户川哲二;福岛诚;安田穗积 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/304;B24B49/02;B24B53/12;B24B41/047 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王 琼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种抛光设备，包括：抛光表面；用于夹持衬底的顶环；用于向所述抛光表面供给抛光液的抛光液供给喷嘴；用于朝向所述抛光表面射出气体从而从所述抛光表面的测量部分移走抛光液的喷嘴；和用于检测测量部分处的所述抛光表面的位置的距离测量传感器。
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