[发明专利]基材处理设备以及使用该基材处理设备处理基材的方法

摘要

一种基材处理设备，包括用于喷射处理液以干燥基材的喷射嘴。该喷射嘴向该基材喷出该处理液，并通过控制处理气的气流向从该喷射嘴喷出的处理液喷射该处理气。这样，由于该基材处理设备能使该处理液微粒的尺寸减到最小，因此可以提高产品的清洁效率和产率。

主权项

1. 一种基材处理设备，其包括：其上固定地放置基材的支撑件；以及设置在所述支撑件上方的处理液供应部，用于通过向置于所述支撑件上的所述基材喷射呈微粒状的处理液来干燥所述基材，其中所述处理液供应部包括：用于接收所述处理液的第一供应喷嘴；用于接收处理气的第二供应喷嘴；和喷射嘴，用于通过控制所述处理气的气流同时喷出所述处理气和所述处理液而使所述处理液在所述处理气的作用下分解成微粒，所述喷射嘴包括从所述第一供应喷嘴注入所述处理液的化学品溶液流道和从所述第二供应喷嘴注入所述处理气并包围所述化学品溶液流道的气体流道。